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地心科技LAB210系列 氣浮直驅(qū)直線臺是納米級定位精度的氣浮平臺,采用直線電機驅(qū)動,利用空氣彈性勢能作為支撐導(dǎo)軌,具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度,空載截止頻...
LAB165S系列 氣浮直驅(qū)直線臺是納米級定位精度的氣浮平臺,采用直線電機驅(qū)動,利用空氣彈性勢能作為支撐導(dǎo)軌,具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度,空載截止頻率最大...
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